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沉铜工艺有哪些流程?

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流程详解:

1.碱性除油:除去板面油污、指印、氧化物、孔内粉尘;使孔壁由负电荷调整为正电荷,便于后工序中胶体钯的吸附。

2.微蚀:除去板面的氧化物,粗化板面,保证后续沉铜层与基材底铜之间具有良好的结合力,可以很好吸附胶体钯。

3.预浸:主要是保护钯槽免受前处理槽液的污染,延长钯槽的使用寿命,可有效润湿孔壁,便于后续活化液及时进入孔内进行足够有效的活化。

4.活化:经前处理碱性除油极性调整后,带正电的孔壁可有效吸附足够带有负电荷的胶体钯颗粒,以保证后续沉铜的平均性,连续性和致密性。

5.解胶:去除胶体钯颗粒外面包抄的亚锡离子,使胶体颗粒中的钯核暴露出来,以直接有效催化启动化学沉铜反应。

6.沉铜:通过钯核的活化诱发化学沉铜自催化反应,新生的化学铜和反应副产物氢气都可以作为反应催化剂催化反应,使沉铜反应持续不断进行。通过该步骤处理后即可在板面或孔壁上沉积一层化学铜


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